三氟甲烷 （CHF3)
項(xiàng)目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | ||
| 三氟甲烷 | ≥99.999 | ≥99.9 | |
雜質(zhì)含量（ppm)
| 水（H2O） | ≤3 | ≤10 |
| 氧氣（O2） | ≤2 | - | |
氮?dú)猓∟2） | ≤5 | - | |
| 二氧化碳（H2SiF6) | ≤3 | ≤100 | |
酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤1 | |
包裝：采用40L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途：用作電子工業(yè)等離子體化學(xué)蝕刻劑、低溫（-100℃）制冷劑及氟有機(jī)化合物的原料。
理化性質(zhì): 是一種無色、微味，不導(dǎo)電的低毒類氣體，是理想的鹵代烷替代物。高濃度三氟甲烷具有窒息麻醉作用，對腦神經(jīng)有損害。液體接觸時(shí)可能引起凍傷。
注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與氧化劑、易（可）燃物分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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