六氟化鎢 (WF6)
項目名稱 | 純度指標(%) | |
六氟化鎢 | ≥99.999 | |
雜質含量(ppm)
| 二氧化碳(CO2) | ≤0.5 |
氮氣(N2) | ≤1 | |
氧氣+氬氣(O2+Ar) | ≤0.5 | |
一氧化碳(CO) | ≤0.5 | |
四氟化碳(CF4) | ≤0.5 | |
三氟化氮(NF3) | ≤0.5 | |
四氟化硅 (SiF4) | ≤0.5 | |
氟化氫(HF) | ≤5 | |
金屬離子(Metals) | ≤1.5 |
包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到4-10L的氣瓶中。
用途:在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復合涂層,可用于X-射線的發(fā)射電極。此外,WF6在電子行業(yè)中還主要用作半導體電極和導電漿糊等的原材料。
理化性質: 能與許多物質發(fā)生化學反應,遇潮濕、空氣或水分解,散發(fā)劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。腐蝕性很強,能侵蝕幾乎所有的金屬,能迅速腐蝕濕的玻璃。
注意事項:
一、泄漏應急處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),禁止無關人員進入污染區(qū),應急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學防護服(完全隔離)。在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴散),但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。勿使水進入包裝容器內,抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過技術處理以清除可能剩下的氣體。
二、防護措施:
1、呼吸系統(tǒng)防護:可能接觸毒物時,必須佩戴防毒面具。
2、眼睛防護:戴安全防護眼鏡。
3、身體防護:穿膠布防毒服。
4、手防護:戴防化學品手套。
三、急救措施
1、皮膚接觸:脫去污染的衣著,用流動清水沖洗。在灼傷處涂敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫(yī)。
2、眼睛接觸:立即翻開上下眼瞼,立即用大量流動清水徹底沖洗至少15分鐘。就醫(yī)。
3、吸入:脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。立即就醫(yī)。
4、食入:誤服者用水漱口,飲牛奶或蛋清,立即就醫(yī)。