六氟化硫 （SF6)
項目名稱 | 純度指標(biāo)（%） | ||
| 六氟化硫 | ≥99.999 | ≥99.99 | |
雜質(zhì)含量（ppm)
| 空氣（Air） | ≤5 | ≤30 |
| 水（H2O） | ≤1 | ≤1 | |
四氟化碳（CF4) | ≤4 | ≤30 | |
| 酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤0.1 | |
可水解氟化物（以HF計） | ≤0.1 | ≤0.2 | |
| 礦物油（Mineral Oil） | ≤0.5 | ≤0.5 | |
包裝：采用40L、44L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到2-10L的氣瓶中。
用途：在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源，不會產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品；變壓器中的絕緣介質(zhì)；金屬冶煉中的保護氣氛。
理化性質(zhì): 六氟化硫（SF6）常態(tài)下是一種無色、無味、無嗅、無毒的非燃燒性氣體，分子量146.06，密度6.139g/l，約為空氣的5倍。是已知化學(xué)安定性最好的物質(zhì)之一，其惰性與氮氣相似。它具有極好的熱穩(wěn)定性，純態(tài)下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的電絕緣性和滅弧特性，相同條件下，其絕緣能力為空氣、氮氣的2.5倍以上，滅弧能力為空氣的100倍。六氟化硫的熔點為－50.8℃，可作為－45－0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑，又因其耐熱性好，是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。
注意事項：
密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具（半面罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
儲存注意事項：儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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